Технология материалов и элементов электронной техники Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. Ю.М.Таиров, В.Ф.Цветков Технология материалов микроэлектроники: от минерального сырья к монокристаллу. Учебное пособие Д.Д.Авров и др. Технология материалов микроэлектроники: методы разделения и очистки. Учебное пособие Д.Д.Авров и др.