Физико-химимические основы технологий изделий электроники и наноэлектроники

  • Физико-химические свойства полупроводниковых веществ. Справочник
  • Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы. А. А. Барыбин.
  • МУ к лабораторным работам. Фазовые диаграммы состояния полупроводников систем. А. И. Максимов, Д. Б. Чеснокова, О. Ф. Луцкая и О. А. Александрова.
  • Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники. А. А. Барыбин, В. И. Томилин и В. И. Шаповалов
  • Химические и фазовые равновесия в технологии материалов электронной техники. А. И. Максимов, Д. Б. Чеснокова, О. Ф. Луцкая.
  • Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники. А. И. Максимов, О. А. Александрова и Е. В. Мараева.
  • Основы физической химии. В. М. Глазов.
  • Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников. Б. Ф. Ормонт.
  • Для консультаций и по другим вопросам в рамках предмета вы можете обратиться сюда