Физико-химимические основы технологий изделий электроники и наноэлектроники Физико-химические свойства полупроводниковых веществ. Справочник А. А. Барыбин Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы А. И. Максимов, Д. Б. Чеснокова, О. Ф. Луцкая и О. А. Александрова Фазовые диаграммы состояния полупроводников систем А. А. Барыбин, В. И. Томилин и В. И. Шаповалов Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники А. И. Максимов, Д. Б. Чеснокова, О. Ф. Луцкая Химические и фазовые равновесия в технологии материалов электронной техники А. И. Максимов, О. А. Александрова и Е. В. Мараева Физико-химические основы технологии изделий электроники и наноэлектроники В. М. Глазов Основы физической химии Б. Ф. Ормонт Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников